一、基本信息
文档名称：JCT2372-2016 集成电路用石英舟
文档格式：pdf格式
文档大小：0.74MB
总页数：8页
二、简介
《JCT2372-2016 集成电路用石英舟》是一项关于集成电路制造过程中关键部件——石英舟的技术标准。该标准规定了石英舟的结构、尺寸、材料性能及检测方法，确保其在高温工艺中的稳定性和可靠性。石英舟主要用于承载硅片进行热处理，其质量直接影响集成电路的生产良率和性能。该标准的发布为行业提供了统一的技术规范，促进了产品质量的提升和产业的规范化发展。
三、预览
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