会议论文《硫钝化6H碳化硅表面的稳定性》探讨了硫元素在6H碳化硅表面钝化过程中的作用及其稳定性。研究通过实验分析表明，硫钝化能够有效减少表面缺陷，提高材料的电学性能。该成果对于提升碳化硅器件的可靠性具有重要意义，为半导体材料的表面处理提供了新思路。
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