会议论文《塑性形变对单晶硅微结构的影响研究》探讨了塑性形变在单晶硅微结构中的作用机制。该研究通过实验分析，揭示了形变过程中位错运动、晶格畸变及微观结构变化的规律。论文为半导体器件制造中的机械应力控制提供了理论依据，对提升器件性能和可靠性具有重要意义。
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