会议论文《硅基应变材料缺陷控制设计研究》探讨了在硅基材料中通过应变工程优化器件性能的方法。该研究针对硅基应变材料中的缺陷问题，提出了一套有效的控制设计策略，旨在提升半导体器件的稳定性和可靠性。论文结合实验与模拟分析，为未来高性能集成电路的发展提供了理论支持和技术参考。
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