会议论文《集成波导孔阵列的激光深刻蚀》介绍了利用激光技术对集成波导孔阵列进行深刻蚀的工艺方法。该研究针对半导体器件制造中的微结构加工需求，探讨了激光参数对刻蚀深度和精度的影响，提出了优化方案以提高加工效率和质量。该成果为高密度集成光学器件的制造提供了技术支持，具有重要的应用价值。
文档为pdf格式，0.77MB，总共5页。
举报
