超导勾型磁场下直拉硅单晶氧浓度的试验研究 - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf

5 0
2026-1-10 08:39 | 查看全部 阅读模式

会议论文《超导勾型磁场下直拉硅单晶氧浓度的试验研究》探讨了在超导勾型磁场条件下,直拉法生长硅单晶过程中氧浓度的变化规律。研究通过实验分析了磁场对晶体中氧含量的影响,为优化硅单晶生长工艺提供了理论依据和技术支持,对提高半导体材料质量具有重要意义。

文档为pdf格式,0.27MB,总共5页。

超导勾型磁场下直拉硅单晶氧浓度的试验研究 - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
文件大小:
276.48 KB
高速下载
2026 资料下载 联系邮件:1991591830#qq.com 浙ICP备2024084428号-1