会议论文《热氧化对6H-SiC少子寿命的影响研究》探讨了热氧化工艺对6H-SiC材料中少子寿命的影响。研究通过实验分析了不同氧化条件下样品的电学特性，发现热氧化过程会显著改变少子寿命，进而影响器件性能。该成果为6H-SiC在功率电子器件中的应用提供了理论依据和技术支持。
文档为pdf格式，0.6MB，总共4页。
举报
