65nm MOSFETs fT_fmax影响因素分析及器件版图优化 - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议.pdf

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2026-1-10 01:05 | 查看全部 阅读模式

会议论文《65nm MOSFETs fT_fmax影响因素分析及器件版图优化》探讨了65纳米MOSFET器件的特征频率fT和最大振荡频率fmax的影响因素,并提出相应的版图优化方法。文章通过仿真与实验分析,揭示了关键参数如沟道长度、掺杂分布及布局对高频性能的影响,为提升器件性能提供了理论依据和技术支持。

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65nm MOSFETs fT_fmax影响因素分析及器件版图优化 - 第十八届全国半导体集成电路、硅材料学术会议
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