基于MEMS的新型智能分光器 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-11 02:38 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于MEMS的新型智能分光器》发表于第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议。该文提出一种利用MEMS技术实现的智能分光器,具有结构紧凑、响应快速和可调性强等优点。研究旨在提升光信号处理的效率与灵活性,适用于高速光通信系统。论文通过实验验证了该分光器的性能,为未来光电子器件的发展提供了新思路。

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基于MEMS的新型智能分光器 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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