本文针对惯性环境下MEMS电容式谐振器的偏移量进行了深入分析。通过建立力学模型，研究了加速度对谐振器结构的影响，探讨了偏移量与加速度之间的关系。该研究为提高MEMS器件在动态环境中的稳定性提供了理论依据，对微波集成电路与移动通信领域的应用具有重要意义。
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