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AlN薄膜择优取向XRD表征及其工艺影响 - 湖南省精密仪器测试学会2008年学术年会.pdf

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会议论文《AlN薄膜择优取向XRD表征及其工艺影响》探讨了AlN薄膜的晶体取向特性，通过X射线衍射（XRD）技术进行分析。文章研究了不同制备工艺对AlN薄膜择优取向的影响，揭示了工艺参数与薄膜结构之间的关系，为优化AlN薄膜的制备工艺提供了理论依据和技术支持。

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AlN薄膜择优取向XRD表征及其工艺影响 - 湖南省精密仪器测试学会2008年学术年会.pdf

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湖南省, 表征, 择优, 取向, 薄膜

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