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WTiN薄膜的合成及其结构和性能的研究 - 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛.pdf

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会议论文《WTiN薄膜的合成及其结构和性能的研究》发表于二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛。该文详细介绍了采用化学气相沉积法合成WTiN薄膜的过程，并对其微观结构和物理性能进行了系统分析。研究结果表明，所制备的薄膜具有良好的硬度和热稳定性，展现出在高温防护和电子器件领域的应用潜力。

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WTiN薄膜的合成及其结构和性能的研究 - 二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛.pdf

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薄膜, 高层论坛, 合成, 性能, 结构

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