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Si(111)衬底上MgO薄膜的脉冲激光沉积 - 第11届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-12 08:05 | 查看全部阅读模式

会议论文《Si(111)衬底上MgO薄膜的脉冲激光沉积》发表于第11届全国固体薄膜会议，探讨了在Si(111)衬底上利用脉冲激光沉积技术制备MgO薄膜的工艺与性能。研究分析了沉积参数对薄膜结构和质量的影响，为高性能磁存储器件和半导体器件的制备提供了理论依据和技术支持。

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Si(111)衬底上MgO薄膜的脉冲激光沉积 - 第11届全国固体薄膜会议.pdf

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薄膜, 衬底, 沉积, 脉冲, 固体

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