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MOCVD生长Si基AlGaN_GaN HEMTs研究 - 第11届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-12 07:47 | 查看全部阅读模式

会议论文《MOCVD生长Si基AlGaN_GaN HEMTs研究》发表于第11届全国固体薄膜会议，探讨了基于硅衬底的AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管（HEMTs）的MOCVD生长技术。文章分析了材料结构、界面特性及器件性能，为高性能功率电子器件提供了重要参考。

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MOCVD生长Si基AlGaN_GaN HEMTs研究 - 第11届全国固体薄膜会议.pdf

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