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Mo电极上磁控反应溅射AlN薄膜 - 第十五届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

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2026-1-12 07:50 | 查看全部阅读模式

会议论文《Mo电极上磁控反应溅射AlN薄膜》介绍了在钼电极上采用磁控反应溅射法制备氮化铝薄膜的研究。文章探讨了工艺参数对薄膜结构和性能的影响，分析了薄膜的晶体结构与表面形貌，为高性能AlN薄膜的制备提供了理论依据和技术支持。

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Mo电极上磁控反应溅射AlN薄膜 - 第十五届全国高技术陶瓷学术年会.pdf

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电极, 薄膜, 高技术, 十五届, 陶瓷

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