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VHF-PECVD沉积微晶硅薄膜的等离子体模拟研究 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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2026-1-12 08:15 | 查看全部阅读模式

会议论文《VHF-PECVD沉积微晶硅薄膜的等离子体模拟研究》发表于第十届中国太阳能光伏会议，探讨了采用超高频等离子体增强化学气相沉积技术制备微晶硅薄膜的过程。文章通过数值模拟分析了等离子体特性对薄膜生长的影响，为优化沉积工艺提供了理论依据，有助于提升太阳能电池的性能和效率。

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VHF-PECVD沉积微晶硅薄膜的等离子体模拟研究 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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等离子体, 沉积, 薄膜, 中国, 第十届

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