会议论文《GaN薄膜材料TEM样品的制备》介绍了用于透射电子显微镜分析的GaN薄膜样品制备方法。文章详细阐述了从材料选择到最终样品制备的全过程，包括切割、研磨、离子减薄等关键步骤。通过优化制备工艺，提高了样品的透明度和成像质量，为后续微观结构分析提供了可靠的基础。
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