PECVD制备N掺杂类金刚石薄膜的光学特性 - 第十届中国太阳能光伏会议.pdf

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2026-1-12 07:53 | 查看全部 阅读模式

会议论文《PECVD制备N掺杂类金刚石薄膜的光学特性》发表于第十届中国太阳能光伏会议,探讨了通过等离子体增强化学气相沉积技术制备氮掺杂类金刚石薄膜的光学性能。研究分析了不同氮掺杂浓度对薄膜折射率、透光率及光学带隙的影响,为太阳能电池中透明导电膜的应用提供了理论依据和技术支持。

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PECVD制备N掺杂类金刚石薄膜的光学特性 - 第十届中国太阳能光伏会议
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