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MOCVD方法生长ZnO薄膜的XPS分析 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 07:47 | 查看全部阅读模式

会议论文《MOCVD方法生长ZnO薄膜的XPS分析》探讨了通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术制备ZnO薄膜的表面化学组成和电子状态。研究利用X射线光电子能谱（XPS）对薄膜进行表征，分析了Zn和O的化学态及表面污染情况，为优化ZnO薄膜的生长工艺提供了重要依据。

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