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n_p型Si衬底对ZnO薄膜结构及导电类型的影响 - 第11届全国固体薄膜会议.pdf

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2026-1-12 08:21 | 查看全部阅读模式

会议论文《n_p型Si衬底对ZnO薄膜结构及导电类型的影响》探讨了不同掺杂类型的硅衬底对ZnO薄膜结构和电学性能的影响。研究结果表明，衬底的掺杂类型显著影响ZnO薄膜的结晶质量与导电特性。该研究为优化ZnO基器件的性能提供了重要参考。

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n_p型Si衬底对ZnO薄膜结构及导电类型的影响 - 第11届全国固体薄膜会议.pdf

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薄膜, 衬底, 导电, 固体, 类型

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