会议论文《ICP增强磁控溅射沉积ZrN薄膜的耐腐蚀性能研究》探讨了采用等离子体增强磁控溅射技术制备ZrN薄膜的工艺及其在腐蚀环境中的表现。研究通过实验分析了不同工艺参数对薄膜结构和耐腐蚀性的影响，结果表明，该方法制备的ZrN薄膜具有良好的致密性和化学稳定性，展现出优异的抗腐蚀能力，为金属防护涂层提供了新的思路。
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