PECVD聚合胺基功能薄膜的研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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2026-1-12 07:55 | 查看全部 阅读模式

会议论文《PECVD聚合胺基功能薄膜的研究》发表于第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛。该研究探讨了利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术制备聚合胺基功能薄膜的工艺与性能。文章分析了不同工艺参数对薄膜结构和功能特性的影响,为功能性薄膜材料在表面工程领域的应用提供了理论依据和技术支持。

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PECVD聚合胺基功能薄膜的研究 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
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