会议论文《LED用蓝宝石单晶衬底抛光工艺的研究》发表于2008年上海纳米科技与产业发展研讨会。该文探讨了蓝宝石单晶衬底在LED制造中的抛光工艺,分析了影响抛光质量的关键因素,如抛光材料、工艺参数及表面缺陷控制等,旨在提高LED器件的性能和可靠性。研究对推动半导体照明技术的发展具有重要意义。
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