会议论文《VHF-PECVD高速沉积非晶硅电池的研究》发表于第十届中国太阳能光伏会议，探讨了利用超高频等离子体增强化学气相沉积技术（VHF-PECVD）高效制备非晶硅太阳能电池的工艺与性能。研究重点分析了沉积速率、薄膜质量及电池效率之间的关系，为提升非晶硅电池的生产效率和光电转换性能提供了理论依据和技术支持。
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