SiC衬底上MOCVD法外延GaN基蓝光LED - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 08:04 | 查看全部 阅读模式

会议论文《SiC衬底上MOCVD法外延GaN基蓝光LED》介绍了采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在碳化硅(SiC)衬底上生长氮化镓(GaN)基材料,并制备蓝光发光二极管(LED)的研究成果。该研究探讨了外延生长工艺对LED性能的影响,为高亮度、高效率的LED器件开发提供了重要参考。

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SiC衬底上MOCVD法外延GaN基蓝光LED - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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