铁沾污对晶界复合活性的影响及H钝化研究 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议.pdf

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2026-1-11 22:20 | 查看全部 阅读模式

会议论文《铁沾污对晶界复合活性的影响及H钝化研究》探讨了铁元素在硅晶体中的沾污如何影响晶界的复合活性,并研究了氢(H)对这种影响的钝化作用。该研究对于提高半导体材料的性能和可靠性具有重要意义,为优化硅材料的制备工艺提供了理论依据。

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铁沾污对晶界复合活性的影响及H钝化研究 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议
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