会议论文《西部某工程6in 0.35μm集成电路生产线项目洁净空调设计》介绍了在西部地区建设的6英寸0.35微米集成电路生产线中，洁净空调系统的设计方案。文章重点分析了洁净度、温湿度控制及气流组织等关键问题，提出了适合高精度集成电路生产的空调系统设计思路，为类似工程提供了重要参考。
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