资料下载 › 论文 › 4H-SiC功率MESFET台面光刻技术研究 - 全国第十二届微波 ...

4H-SiC功率MESFET台面光刻技术研究 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf

9 0

2026-1-12 07:09 | 查看全部阅读模式

会议论文《4H-SiC功率MESFET台面光刻技术研究》探讨了在4H-SiC材料上实现高精度台面结构的光刻工艺。该研究针对功率MESFET器件的制造需求，优化了光刻参数与工艺流程，提高了器件性能与可靠性。论文为高性能功率半导体器件的开发提供了关键技术支撑，具有重要的工程应用价值。

文档为pdf格式，0.39MB，总共3页。

4H-SiC功率MESFET台面光刻技术研究 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf

文件大小:: 399.36 KB

高速下载

光刻, 台面, 移动通信, 集成电路, 技术研究

相关文档

• USB_OTG IP核OTG控制器的研究与实现 - 第六届中国通信集成电路技术与应用研讨会.pdf
• UNIMET4000混合集成电路测试系统校准方法研究 - 2008中国仪器仪表与测控技术报告大会.pdf
• UHF频段RFID读写器天线设计 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• UHF波段40W功率放大器 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• WAP网关智能重定向的设计与实现 - 2008年中国通信学会无线及移动通信委员会学术年会.pdf
• Windows Vista操作系统安全技术研究 - 第十八届全国信息保密学术会议.pdf
• Win32环境下恶意代码行为分析技术研究及实验 - 第23届全国计算机安全学术交流会.pdf
• WiMAX系统中的QoS分析 - 2008年中国通信学会无线及移动通信委员会学术年会.pdf
• WiMAX与3GPP融合中统一计费管理的研究 - 2008年中国通信学会无线及移动通信委员会学术年会.pdf
• WLAN网络规划及测试优化之浅谈 - 2008年中国通信学会无线及移动通信委员会学术年会.pdf
• WLAN与UMTS网络的融合鉴权解决方案 - 2008年中国通信学会无线及移动通信委员会学术年会.pdf
• WIMAX技术的发展和应用 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• X60管线钢硫化夹杂物钙处理技术研究 - 2008年全国冶金反应工程学术交流会.pdf
• WindowsNT日志分析与修复 - 华东计算技术研究所建所50周年庆学术交流会.pdf
• “三低”油藏整体调剖技术研究与应用 - 2008年油田高含水期深部调驱技术研讨会.pdf
• “无线城市”宽带网络的业务需求及典型应用 - 2008年中国通信学会无线及移动通信委员会学术年会.pdf
• 一款1.3L发动机国四排放法规技术研究 - 中国内燃机学会燃烧、节能、净化分会2008年学术年会.pdf
• 一种任意双频环形电桥 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 一种RFID室内系统的定位方法 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 一种基于CMMI软件过程管理框架的度量系统 - 华东计算技术研究所建所50周年庆学术交流会.pdf
• 一种基于RapidIO接口的嵌入式系统 - 华东计算技术研究所建所50周年庆学术交流会.pdf
• 一种基于功率合成的线性化技术 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 一种基于语义网中本体的排序算法 - 华东计算技术研究所建所50周年庆学术交流会.pdf
• 一种基于自由空间光传输技术的新型移动通信数字直放站 - 2007年北京地区高校研究生学术交流会.pdf
• 一种基于策略的混合式异构无线资源管理架构 - 2008年中国通信学会无线及移动通信委员会学术年会.pdf
• 一种宽带不等分功分器的设计 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 一种实现增强型AlGaN_GaN HEMT新方法 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 一种支持QoS的自适应Web服务发现模型 - 华东计算技术研究所建所50周年庆学术交流会.pdf
• 一种新型WCDMA信号产生方法 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 一种新型的层叠式LTCC带通滤波器的设计与实现 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 一种新型的振动剪切干涉测量技术研究 - 2008中国仪器仪表与测控技术报告大会.pdf
• 一种新的8B_10B编码电路设计 - 第六届中国通信集成电路技术与应用研讨会.pdf
• 一种新型高效的基于专用IP库的信息最大化算法的FPGA设计与实现 - 第六届中国通信集成电路技术与应用研讨会.pdf
• 一种特殊齿形零件的精密成形技术研究 - 第3届全国精密锻造学术研讨会.pdf
• 一种集成电路脉冲波峰值电压的测试方法 - 第五届中国测试学术会议.pdf
• 一种运用于1.25Gbps LA的新型双通道自适应电平检测电路的设计 - 第六届中国通信集成电路技术与应用研讨会.pdf
• 一种高分辨率引信技术研究 - 第七届全国毫米波亚毫米波学术会议.pdf
• 丁基橡胶合成技术研究进展及市场展望 - 第四届全国橡胶行业及相关行业技术与贸易交流会.pdf
• 三峡右岸巨型发电机组数据采集与控制技术研究与实现 - 中国水利水电科学研究院第九届青年学术交流会.pdf
• 万能轧机水平辊复合热装技术研究 - 2008轧辊制造与应用国际研讨会.pdf
• 上海世博园(浦东区)优质安全供水技术研究 - 全国给水深度处理研究会2008年年会.pdf
• 三网融合中的接入技术研究 - 2008全国信息化发展与新技术学术大会.pdf
• 下一代综合化航空电子系统计算机三防技术研究 - 全国抗恶劣环境计算机第十八届学术年会.pdf
• 下一代无线网络中MBMS技术研究 - 2008年北京通信学会无线及移动研讨会.pdf
• 下一代移动通信中的单载波频域均衡技术 - 2008年中国西部青年通信学术会议.pdf
• 下一代移动通信系统的跨层设计架构研究 - 中国通信学会第五届学术年会.pdf
• 上行OFDMA系统时_频同步参数估计技术研究 - 2008信息通信网技术业务发展研讨会.pdf
• 专用集成电路英语词汇构成之特点 - 第十二届计算机工程与工艺全国学术年会(NCCET08).pdf
• 专用集成电路交流参数测试概论与应用 - 第一届中国微电子计量与测试技术研讨会.pdf
• 专用键盘的电磁兼容性设计 - 华东计算技术研究所建所50周年庆学术交流会.pdf
• 专用水冷柜机控制技术研究 - 第十三届全国热泵与系统节能技术大会.pdf
• 两段式干煤粉加压气化技术研究及其工程化应用 - 第五届全国化工年会.pdf
• 中国石化油田重点地面工程和技术研究方向 - 中国石油化工集团公司2008石油工程会议.pdf
• 中国电子学会微波分会微波集成电路与移动通信专业委员会学术交流会办会规程 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 中国电子学会微波分会微波集成电路与移动通信专业委员会 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 中国集成电路材料的发展和展望 - 中国电子学会第十四届青年学术年会.pdf
• 中小模数齿轮环焊缝超声自动检测技术研究 - 全国高等学校制造自动化研究会第十三届学术年会.pdf
• 丰探1井压裂优化技术研究 - 2008年全国低渗透油气藏改造学术发展研讨会.pdf
• 中频数字解调技术研究与实现 - 2008中国计算机大会.pdf
• 中药材脱除重金属技术研究进展 - 第五届全国化工年会.pdf
• 中继协作通信中一种新的网络编码协作策略 - 2008年中国通信学会无线及移动通信委员会学术年会.pdf
• 串行RapidIO验证模型 - 华东计算技术研究所建所50周年庆学术交流会.pdf
• 串行RapidIO互连技术研究与实现 - 第二届全国信号处理与应用学术会议.pdf
• 串并联型SPDT微带开关的网络分析及设计 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 乙烯废碱液处理技术研究进展 - 中国化工学会2008年石油化工学术年会暨北京化工研究院建院50周年学术报告会.pdf
• 乐安稠油油藏水平井堵水调剖技术研究应用 - 五省(市、区)第十四届稠油开采技术研讨会.pdf
• 云南山地民居太阳能利用技术研究 - 第十届全国建筑物理学术会议.pdf
• 二级Cache综合验证技术研究 - 第十二届计算机工程与工艺全国学术年会(NCCET08).pdf
• 二氧化碳的捕集技术研究进展 - 第十届中国科协年会第18分会场——二氧化碳减排和绿色化利用与发展研讨会.pdf
• 二极管单平衡混频器的ADS仿真设计 - 全国第十二届微波集成电路与移动通信学术会议.pdf
• 交互式电子技术手册开发平台设计与实现技术研究 - 2008年军民两用维修技术学术研讨会.pdf
• 人体运动与表情的计算机仿真技术研究 - 第十二届中国体视学与图像分析学术会议.pdf
• 人脸表情生成技术研究(下) - 第七届全国信号与信息处理联合会议暨首届全国省(市)级图象图形学会联合年会.pdf
• 人脸表情生成技术研究(上) - 第七届全国信号与信息处理联合会议暨首届全国省(市)级图象图形学会联合年会.pdf
• 人工爆破挖孔灌注桩技术研究及应用 - 第十届全国煤炭爆破学术会议.pdf
• 人工智能客户服务体系的研究与实现 - 2008年中国通信学会无线及移动通信委员会学术年会.pdf
• 仿真模型重用技术研究 - 第三届图像图形技术与应用学术会议.pdf
• 传真通信中的抗误码技术研究 - 2008年通信理论与信号处理学术年会.pdf
• 传感器网络中的低功耗无线唤醒技术研究 - 2008年中国西部青年通信学术会议.pdf
• 低复杂度的RS译码器结构 - 第六届中国通信集成电路技术与应用研讨会.pdf
• 低温气藏压裂改造技术研究与应用 - 首届西部天然气开发技术研讨会.pdf
• 低渗透薄互层压裂缝高扩展及控制技术研究 - 2008年油气藏增产改造学术研讨会.pdf
• 低渗透油藏渗吸开发技术研究 - 中国石油学会石油工程专业委员会2008年低渗透油田开发技术研讨会.pdf
• 低渗透油田薄差层压裂技术研究与应用 - 2008年油气藏增产改造学术研讨会.pdf
• 低渗透垂直缝油田重复压裂技术研究与实践 - 2008年油气藏增产改造学术研讨会.pdf
• 低渗特低渗油藏系统保护储层技术研究与应用 - 中国石油学会石油工程专业委员会2008年低渗透油田开发技术研讨会.pdf
• 低碳钢在浪花飞溅区的腐蚀防护技术研究进展 - 2008’材料腐蚀与控制学术研讨会.pdf

热门分类

法规
地方标准
团体标准
其他标准
工业技术
参考文献
新能源行业
电力行业
商务办公
建筑工程
打包下载
软件工具