氧气压力对脉冲激光沉积ZnO薄膜的形貌及光学性质影响 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 15:10 | 查看全部阅读模式

会议论文《氧气压力对脉冲激光沉积ZnO薄膜的形貌及光学性质影响》探讨了在不同氧气压力下制备的ZnO薄膜的结构与光学特性。研究发现，氧气压力显著影响薄膜的表面形貌和光致发光性能。适当的氧气压力有助于获得更均匀、致密的薄膜，从而改善其光学质量。该成果为优化ZnO薄膜的制备工艺提供了理论依据。

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