用于半导体器件参数检测的比例差值谱仪 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

6 0

2026-1-12 16:32 | 查看全部阅读模式

会议论文《用于半导体器件参数检测的比例差值谱仪》发表于第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议。该文提出了一种新型比例差值谱仪，用于提高半导体器件参数的检测精度。通过分析信号比例差值，有效提升了测量的灵敏度和稳定性，为半导体器件的性能评估提供了可靠的技术支持。

文档为pdf格式，0.8MB，总共4页。