会议论文《氮化硅薄膜的沉积速率和表面形貌》发表于第11届全国固体薄膜会议，主要研究了氮化硅薄膜在不同工艺条件下的沉积速率及其表面形貌特征。文章通过实验分析了沉积参数对薄膜性能的影响，为优化薄膜制备工艺提供了理论依据和技术参考。
文档为pdf格式，0.36MB，总共5页。
举报
