2008年中国平板显示学术会议上，一篇会议论文探讨了氧气含量对脉冲反应溅射制备ZrO2薄膜介电性能的影响。研究通过调节氧气比例，分析其对薄膜结构和介电常数的影响，结果表明氧气含量显著影响薄膜的致密性和介电性能，为优化ZrO2薄膜的制备工艺提供了理论依据。
文档为pdf格式，0.19MB，总共3页。
举报
