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电子束辐照单晶硅的能量沉积与辐照效应 - 第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会.pdf

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会议论文《电子束辐照单晶硅的能量沉积与辐照效应》探讨了电子束对单晶硅材料的能量沉积过程及其引起的辐照效应。该研究对于理解高能电子在半导体材料中的作用机制具有重要意义，为相关领域的应用提供了理论依据和技术支持。

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电子束辐照单晶硅的能量沉积与辐照效应 - 第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会.pdf

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辐照, 电子束, 单晶硅, 核电, 沉积

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