会议论文《沉积温度对LPCVD-BCx形貌和成键的影响》探讨了不同沉积温度对化学气相沉积法制备的硼碳（BCx）薄膜微观结构及化学键合特性的影响。研究通过实验分析表明，沉积温度显著影响薄膜的表面形貌和键合状态，进而影响其物理性能。该成果为优化BCx薄膜制备工艺提供了理论依据，具有重要的应用价值。
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