会议论文《氩稀释在PECVD高速沉积微晶硅薄膜中的作用》探讨了在等离子体增强化学气相沉积（PECVD）过程中，氩气稀释对微晶硅薄膜高速沉积的影响。研究结果表明，适量的氩稀释可改善薄膜质量，提高沉积速率并优化结构性能，为高效太阳能电池的制备提供了理论依据和技术支持。
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