会议论文《沉积参数对a-CNzH薄膜摩擦学性能的影响》探讨了不同沉积条件下制备的a-CNzH薄膜的摩擦学性能变化。研究通过调整沉积参数，如功率、气压和基底温度，分析其对薄膜硬度、表面形貌及摩擦系数的影响。结果表明，优化沉积参数可显著改善薄膜的耐磨性和润滑性能，为高性能薄膜材料的应用提供了理论依据和技术支持。
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