会议论文《电子辅助化学气相沉积纳米金刚石膜及其光电性的研究》发表于第11届全国固体薄膜会议,探讨了利用电子辅助化学气相沉积技术制备纳米金刚石膜的工艺与性能。研究重点分析了该方法对金刚石膜微观结构和光电特性的影响,为高性能金刚石材料的应用提供了理论依据和技术支持。
文档为pdf格式,0.29MB,总共4页。
举报