会议论文《氧气流量对ZnO薄膜生长及性质的影响》探讨了氧气流量在ZnO薄膜制备过程中的关键作用。研究通过调控氧气流量，分析其对薄膜结构、光学和电学性能的影响。结果表明，适当调节氧气流量可优化ZnO薄膜的结晶质量与光电特性，为高性能光电器件的制备提供理论依据和技术支持。
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