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用原子源辅助激光分子束外延氮掺杂p型ZnO薄膜的制备与表征 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-12 16:33 | 查看全部阅读模式

会议论文《用原子源辅助激光分子束外延氮掺杂p型ZnO薄膜的制备与表征》介绍了通过原子源辅助激光分子束外延技术制备氮掺杂p型ZnO薄膜的方法。该研究对所制备薄膜的结构和电学性能进行了系统表征，为实现高性能ZnO基p型半导体提供了实验依据和技术支持。

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用原子源辅助激光分子束外延氮掺杂p型ZnO薄膜的制备与表征 - 第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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