电弧离子镀沉积参数对TiN薄膜性能的影响 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛.pdf

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2026-1-12 16:44 | 查看全部 阅读模式

会议论文《电弧离子镀沉积参数对TiN薄膜性能的影响》发表于第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛。该文研究了不同沉积参数如电流、电压及气体流量对TiN薄膜性能的影响,分析了其在硬度、附着力和表面形貌方面的变化规律,为优化TiN薄膜制备工艺提供了理论依据和技术支持。

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电弧离子镀沉积参数对TiN薄膜性能的影响 - 第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
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