会议论文《氧氩比对本征氧化锌薄膜结构及表面形貌的影响》探讨了在制备本征氧化锌薄膜过程中，氧氩比对薄膜结构和表面形貌的影响。研究通过控制气体比例，分析了不同条件下薄膜的晶体结构、晶粒大小及表面粗糙度的变化。结果表明，氧氩比的调整显著影响薄膜的质量与性能，为优化氧化锌薄膜的制备工艺提供了理论依据。
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