会议论文《晶面翘曲对HVPE厚膜GaN三轴晶X射线摇摆曲线的影响》探讨了晶面翘曲对GaN厚膜晶体质量的影响。通过分析三轴晶X射线摇摆曲线，研究揭示了晶面结构不均匀性如何导致衍射峰的展宽与偏移。该成果为优化HVPE生长工艺、提升GaN晶体质量提供了重要依据，对宽禁带半导体器件发展具有重要意义。
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