会议论文《氧化铝薄膜磁控溅射工艺参数对PET基体温度的影响》探讨了在磁控溅射过程中，不同工艺参数对PET基体温度变化的影响。研究结果表明，溅射功率、气体压力和沉积时间等参数显著影响基体温度，进而影响薄膜质量与性能。该研究为优化磁控溅射工艺提供了理论依据和技术支持，对提高PET基材表面改性效果具有重要意义。
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