会议论文《柔性衬底上a-SiNz∶H绝缘介质薄膜的制备与特性研究》探讨了在柔性衬底上制备a-SiNz∶H薄膜的方法及其电学性能。研究通过等离子体增强化学气相沉积技术实现薄膜的制备，并对其介电常数、击穿电压等特性进行了分析。该成果为柔性电子器件提供了重要的绝缘材料基础，具有广泛的应用前景。
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