会议论文《氧分压对低温制备In2O3∶Sn薄膜性能的影响》探讨了在低温条件下，氧分压对In2O3∶Sn薄膜结构和性能的影响。研究通过调整氧分压，分析其对薄膜电阻率、透光率及晶体结构的影响，为优化透明导电薄膜的制备工艺提供了理论依据和技术支持。
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