氧源对氧化锌薄膜基本性质的影响 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议.pdf

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2026-1-11 04:40 | 查看全部 阅读模式

会议论文《氧源对氧化锌薄膜基本性质的影响》探讨了不同氧源对氧化锌薄膜性能的影响。研究通过实验分析了氧源种类对薄膜结构、光学和电学性质的作用机制,为优化氧化锌薄膜的制备工艺提供了理论依据和技术支持。

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氧源对氧化锌薄膜基本性质的影响 - 第十六届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
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