该会议论文介绍了在金刚石基片上通过射频溅射技术生长用于声表面波器件的氧化锌薄膜。研究重点在于优化溅射参数，以获得高质量、均匀的ZnO薄膜，从而提升声表面波器件的性能。金刚石基片因其优异的热导率和机械性能，成为高频声表面波器件的理想选择。论文分析了薄膜结构与性能的关系，为后续器件设计提供了理论依据和技术支持。
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