基于SiO2_HfO2_A2lO3隧穿层的Co纳米晶存储电容研究 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议.pdf

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2026-1-11 15:17 | 查看全部 阅读模式

会议论文《基于SiO2_HfO2_A2lO3隧穿层的Co纳米晶存储电容研究》探讨了新型隧穿层在Co纳米晶存储电容中的应用。该研究通过优化SiO2、HfO2和A2lO3材料的组合,提升了器件的性能与稳定性。论文为高密度非易失性存储器的发展提供了理论支持和技术参考,具有重要的学术价值和应用前景。

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基于SiO2_HfO2_A2lO3隧穿层的Co纳米晶存储电容研究 - 第十六届全国半导体集成电路硅材料学术会议
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