氢气对脉冲磁控溅射掺铝氧化锌薄膜性能的影响 - 第十一届中国光伏大会暨展览会.pdf

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2026-1-11 04:39 | 查看全部 阅读模式

会议论文《氢气对脉冲磁控溅射掺铝氧化锌薄膜性能的影响》探讨了在脉冲磁控溅射过程中引入氢气对掺铝氧化锌薄膜性能的影响。研究结果表明,适量氢气的加入可改善薄膜的结构和光电性能,有助于提高透明导电性能。该论文发表于第十一届中国光伏大会暨展览会,为光伏材料的优化提供了重要参考。

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氢气对脉冲磁控溅射掺铝氧化锌薄膜性能的影响 - 第十一届中国光伏大会暨展览会
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