会议论文《低温直流反应磁控溅射制备ZnO_Al(ZAO)薄膜及表征》介绍了采用低温直流反应磁控溅射技术制备ZnO-Al（ZAO）薄膜的方法。通过调控工艺参数，研究了薄膜的结构与性能，分析了其在透明导电领域的应用潜力。该研究对优化薄膜制备工艺、提升材料性能具有重要意义。
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